第二十三章扫描电子显微分析与电子探针第一节扫描电子显微镜工作原理及构造一、工作原理图22-1扫描电子显微镜原理示意图二、构造与主要性能扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、偏转系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成1.电子光学系统由电子抢、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。作用:获得扫描电子...